圖片展示

磁控濺射的三個運行條件

發表時間: 2022-09-21 17:18:14

作者: 青州市中拓鍍膜機械科技有限公司

瀏覽:

磁控濺射的三個運行條件 磁控濺射的三個條件  磁控氣體放電開始濺射有三個條件 ?。?)它具有適合的放電氣壓P:DC或脈沖,如果是磁控管放電,約0.1pA~10P

磁控濺射的三個運行條件



 磁控濺射的三個條件

  磁控氣體放電開始濺射有三個條件

 ?。?)它具有適合的放電氣壓P:DC或脈沖,如果是磁控管放電,約0.1pA~10Pa),典型值為5x10-1pA;射頻磁控管放電約為10-1~10-2Pa。

 ?。?)其次,磁控管靶具有一定水平(或等效水平)的磁場強度B(約10MT~100MT),典型值為30~50mt,較小值為10~20MT(100~200高斯)。

 ?。?)第三,在真空腔內,存在一個與磁場正交(或等效)的電場v,其典型值為500-700v。

  我們稱上述三個條件為p-b-v。

  離子鍍

 ?。?)離子鍍與其它鍍層類型的主要區別在于,在基體和工件上是否施加負偏壓(直流或脈沖),以及負偏壓是否用來吸引和加速離子。蒸發鍍時基體和工件上的負偏壓為蒸發離子鍍;多弧鍍時基體和工件上的負偏壓為多弧離子鍍;發生反應時基體和工件上的負偏壓為離子鍍,這是離子鍍技術的一個重要特點。

 ?。?)離子鍍是磁控濺射與離子鍍相結合的技術。在同一真空室中,可以實現氬離子在磁控靶上的穩定濺射,實現在襯底負偏壓下轟擊、濺射、注入和沉積高能靶離子的過程。在整個鍍膜過程中,基體和工件表面都有離子轟擊,能有效地去除基體和工件表面的氣體和污垢,使膜層表面保持清潔。

 ?。?)離子鍍可在膜基界面形成明顯的混合過渡層(假擴散層),增加膜層的結合強度,在膜層與工件之間形成金屬間化合物和固體熔體,實現材料的表面合金化,甚至產生新的晶體結構。

 ?。?)該復合膜具有結合力好、涂層包裹性好、膜結構參數可控、膜粒子總能量高、易反應沉積等優點,可在較低的溫度下制備。

 ?。?)磁控濺射離子鍍可清理薄膜的柱狀晶結構,形成均勻的顆粒晶結構。

磁控濺射


磁控濺射的三個運行條件
磁控濺射的三個運行條件 磁控濺射的三個條件  磁控氣體放電開始濺射有三個條件 ?。?)它具有適合的放電氣壓P:DC或脈沖,如果是磁控管放電,約0.1pA~10P
長按圖片保存/分享
0
圖片展示

鍍膜設備生產廠家,支持定制

© 2016 - 2099  青州市中拓鍍膜機械科技有限公司

首頁

關于我們

公司產品

行業知識

聯系我們

聯系方式

電話:劉經理:15275366886 

           郝經理:18365698121     張經理:13793678006

郵箱:czhongtuo@163.com

地址:山東省青州市彌河工業園

 

 

圖片展示

 

青州市中拓鍍膜機械科技有限公司

               

聯系方式:

           崔經理:15065626060   

           郝經理:18365698121   

           張經理:13793678006 

傳真:0536-2513661

郵箱:czhongtuo@163.com
地址:青州市彌河工業園

© 2012 - 2099   青州市中拓鍍膜機械科技有限公司

 

掃碼關注搶優惠

 

 

服務電話
152 7536 6886
郝經理
183 6569 8121
張經理
137 9367 8006
二維碼
掃碼加好友
添加微信好友,詳細了解產品
使用企業微信
“掃一掃”加入群聊
復制成功
添加微信好友,詳細了解產品
我知道了
魯ICP備16034420號-3
91夫妻自拍欧美黄片在线_正能量网站奖励www_欧美特级黄片中文字幕_亚洲av无码无在线观看